制造。
直到今年年初,阿斯麦才研制出了第一台极紫外光刻机。
不过这个进程已经比曹阳前世的要提前太多了。
光刻机的第二个技术难点,是用来调整光路和聚焦的光学镜头。高度精密的光学镜头是光刻机的核心部件之一,所以,排在阿斯麦之后的另外两家光刻机生产商,尼康和佳能,都是生产光学镜头的佼佼者。
阿斯麦自己不生产镜头,它的镜头来自德国的光学大师卡尔蔡司。这种镜头有多精密呢?如果把镜头放大到一个地球那么大,它上面只允许有一根头发丝那样的凸起。所以有人说,这可能是宇宙中最光滑的人造物体。
国内吃亏就吃亏在没有完整的产业链,尤其是光学元件所需要的产业链上面,摄像头,照相机基本上都是来自于国外公司生产,很少能将光学元件打磨到那么精细。
所以这一块还有很长的路要走。
最后一个难点就在于【精准】
芯片不是一次曝光就可以完成的,而是必须更换不同的掩膜,进行多次曝光。
芯片的每个元器件之间只允许有几纳米的间隔。这就意味着,掩膜和硅晶圆每次对准的误差,也必须控制在纳米级别。
曝光完一个区域之后,放置硅晶圆的曝光台必须快速移动,接着曝光下一个区域。
要在快速移动中实现纳米级的对准,这个难度就相当于,你要从眨眼之间,端着一盘菜从bj天安门冲到上海外滩,恰好踩到预定的脚印上,菜还保持端平不能洒。
当然,这还有一系列外围的技术难题,比如,室外空气干净1万倍的超洁净厂房,防止机器抖动的磁悬浮装置,以及配套的计算光刻软件等等。
这就是为什么光刻机被称为“半导体工业皇冠上的明珠”的原因了。
制造一台极紫外光刻机,就是在挑战人类工业文明的极限。
……
在听到清大唐教授团队居然能研发出稳定的极紫外光源的时候,曹阳是肉眼可见的兴奋。
因为这件事情真的太伟大了,意味着曹老板并没有白活这一辈子,他也没有白投入芯片领域的发展,现在能推动解决三个难题当中的一个就已经非常了不起了。
所以曹阳赶紧给张如京答复说自己一定要去参观。
……
唐教授的实验室并不是很大,在外面摆放着许多的电脑,然后里面的隔间有一面是透明玻璃,在实验室当中摆放着许多的设备,曹阳根本叫不上名字,通过一些奇形怪状的线串联起来。
曹阳在外面看着这一切,觉得真的是很神奇。
他前世打交道最多的是电脑,还很少接触物理实验室什么的,只有在刘强他们的硬件制造部门才能看到类似的高科技研发场景。
唐教授带领大家参观着,然后给他们做着介绍和科普,让曹阳他们简单了解一些实验室当
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