中的极紫外光光源是怎么做出来的。
博米公司也算是团队最大的金主了，为了推进国内的芯片事业，博米没少下本钱。
不过这种事情本来就是需要大量的金钱和时间堆出来的，早堆早好。
晚堆带来的代价更高。
前世国内的光刻机总是被卡脖子，其实有人才的原因，也有时间的原因，更多的也是资金投入不足的原因。
很多资本都希望能在短期内获得回报，关键是光刻机的研发注定是一个非常烧钱的过程，而且在短期内很难看到回报，加上一些骗经费的事情发生，国内热衷于此的企业和单位就更少了。
不过这一世曹阳对芯片领域非常看重，把关也极其严格，入股中芯国际以后，就在花大价钱推动相关的光刻机发展。
早发展总是更好的，因为这玩意儿靠外国肯定靠不住，最后还是要走出自己的道路才行。
观察了一会儿，曹阳兴奋地问到，“极紫外光要怎么才能观察到呢？”
“只能通过仪器。”
唐教授笑着解释说，“一般人的眼睛可以感知的电磁波的频率在380~750thz，波长在780～400nm之间，但还有一些人能够感知到频率大约在340~790thz，波长大约在880～380nm之间的电磁波。
而极紫外光的波长在121纳米到10纳米之间，所以我们平常用肉眼肯定是看不见的。”
“而且，最好不要直视它，这会对眼睛造成不可逆的伤害。”
……
“曹总，你来看。”
唐教授把曹阳请到自己的电脑面前，让自己的学生操作了一下仪器设备。
很快在电脑屏幕当中出现了一组新绘制的图谱。
“波长为1，064nm的水平偏振激光脉冲，这种极光脉冲半峰全宽大概是10ns，能量约50mj，被发射到周期为总长4m的平面波荡器中，在这里与计量光源mls存储环中存储的电子束共同传播。
在传播过程中，由于波荡器间隙满足共振条件，激光-电子能量交换能够最大程度进行，使得电子束产生正弦能量调制图案。
在周长为48m的准同步存储环中旋转一圈后，电子向同步相聚集，最终形成微束。来自电子束的波荡器辐射之后通过二向色镜分离为基波和二次谐波，信号则主要集中在二次谐波上。
在光电探测器前插入一个窄带通滤波器，即可拾取到由微束产生的窄带相干辐射。”
很好。
到后面曹阳已经听不懂他在说些什么了。
不愧是专业搞这个。
曹阳其实只关心一个问题，那就是——
“我们能做出这个极紫外光源稳定吗？它能够用来进行光刻制造芯片吗？”
“理论上是可行的。”唐教授点点头，“不过我们现在还处于基础的起步阶段，只是将光源通过实验的形式制造出来，可相应的成本还是比较高的，想要将成本降低下来，可能还需要有一段时间。”
“您预期需要多久？”曹阳问到。
“嗯……短的话3、5年，长的话8、9年，但是肯定能把成本压下来，而且我们会完善相应的设备，制造出更稳定而且功效更高的极紫外光源。”
从理论上来说，现在唐教授采用的这种微态光聚束，能产生的光的波长比荷兰那边amsl制作的光刻机光源更短，更短的光源有好处也有坏处。
好处就在于能够制造出精细度更高的芯片，比如未来的3nm芯片，甚至是2nm芯片都能用这个来进行制作。
坏处就在于，光有光源还不够，需要有一系列配套的设备。
比如说光学元件，高精度的加工机床，还有各种各样的制作流程使用设备等等，这些都是短板，需要一个一个被攻克才行的难题。
不过，只要能迈出第一步，曹阳就基本上能看到未来再向自己招手了。
……
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